URE-2000A型紫外掩膜式光刻機

一、URE-2000A型紫外掩膜式光刻機技術參數

1. 曝光面積：150mmX150mm

2. 曝光波長：365nm

3. 分辨率：0.8~1μm （膠厚 2μm的正膠）；

4. 對準精度：±0. 6μm

5. 掩模樣片整體運動范圍：X：15mm; Y：15mm

6. 掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸；

7. 樣片尺寸：直徑φ15mm~φ150mm（各種不規則片）；厚度 0.1mm~5mm(可拓展至 15mm)；

8. 曝光方式：定時（倒計時方式），0.1s~9999s

9. 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光 、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；

10. 照明不均勻性： 2.5%（φ100mm 范圍）；5%（φ150mm 范圍）；

11. 雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+ 顯示器對準，光學合像，光學最大倍數 400 倍，光學+電子放大800倍；

物鏡三對：4  倍、10  倍、20 倍

目鏡三對：10  倍、16  倍、20 倍

12. 調平接觸壓力通過傳感器保證重復；

13. 數字設定對準間隙和曝光間隙；

14. 具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口；

15. 掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm;  Y: ±5mm;  θ: ±6 度

16. 最大膠厚：500μm(SU8膠)

17. 光源平行性：2°

18. 曝光能量密度：>18mW/cm2

19. 冷卻方式：循環水+風冷

20. 曝光面溫度：<30 °C

21. 汞燈功率：1000W（直流， 進口汞燈）

22. 外形尺寸：1400mm（長）×1200mm(寬) ×1950mm（高）

二．URE-2000A型紫外掩膜式光刻機配置：

【曝光頭】

1. 冷光橢球鏡

2. 1000W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗,長壽命型)

3. XYZ 汞燈調節臺

4. 冷卻風扇

5. 光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡①、準直鏡鏡②、蠅眼透鏡組（109 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡①、場鏡 ②、冷光反射鏡 ①、反射鏡 ②

6. 循環水冷系統

【對準工件臺】

1. 掩模樣片整體運動臺

2. 掩模樣片相對運動臺

3. 轉動臺

4. 樣片調平機構,自動完成

5. 樣片調焦機構，自動調

6. 承片臺 4 個（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）

7. 掩模夾 4 個（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）

8. 基片抽拉式上下片機構

【對準顯微鏡】

1. 光源（配備品 2 只）、電源

2. 雙目雙視場對準顯微鏡主體

3. 目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）

4. 物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）

【CCD 對準系統(選配)】

1. 光源（配備品 3 只）、電源

2. 成像光學系統（兩套）

3. 數據采集卡

4. 三維工件臺（兩套）

5. CCD（2 只）

【電控系統】

1. 汞燈觸發電源(1000W 直流汞燈)

2. 單片機控制系統

3. 控制柜桌

4. 計算機系統及液晶顯示器

【氣動系統】

1. 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等

2. 電磁閥驅動

3. 氣動儀表

【其他附件】

1. 真空泵一臺（無油泵）

2. 空壓機一臺（靜音泵）

3. 管道

【技術資料】

1. 使用維修說明書

2. 顯微鏡使用說明書