德國PVA TePla等離子清洗機

一、德國PVA TePla等離子清洗機IoN 40功能特性：

●  靈活的電極設計保證了工藝的均勻性

●  使用Windows系統的工業計算機控制

●  觸摸屏操作，圖形用戶界面（GUI）

●  菜單驅動式工藝過程

●  繪圖和自診斷功能

●  以太網通訊功能

●  節能模式

●  工藝編輯軟件提供了快速靈活的步驟控制功能

●  安裝簡單快捷

二、德國PVA TePla等離子清洗機IoN 40規格參數：

1、工作腔室材料：鋁

2、容積：36.5 升

3、內部尺寸：229 x 330 x 483 mm

4、可選電極

● 可抽卸的多層電極板

● 垂直電極

● 3層溫控電極

● 低微粒電極

● 次級等離子體電極

5、質量流量控制計：最多至6路氣體

6、工藝壓力：200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)

7、抽真空時間：大約1分鐘 (取決于真空泵)

8、放氣：可調

9、射頻發生器：風冷13.56MHz,600 瓦(標準配置)

10、供給需求電源：220V 單相,2.3 KW, 50Hz

11、工藝氣體：輸入壓力 1-2 bar

12、吹掃氣體：輸入壓力 1-2 bar

13、壓縮空氣：輸入壓力 4-6 bar

14、尺寸：寬/高/深 775 x 723 x 781 mm（不含泵）

15、重量：約157千克（不含泵）

可選配項

● 壓力控制器

● 1%精度的真空規

● 指示燈柱

● 條形碼閱讀器

● 工藝氣體切換器

● 光譜終點檢測器

● 300 瓦13.56 MHz射頻發生器

● 水冷機

● 單體處理裝置

● 真空泵（油泵或干泵）

● 氣相MFC